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工具显微镜
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用途:

6JA干涉显微镜是用来测量精密加工零件表面(平面、圆柱等外表面)光洁度的仪器。也可以用来测量零件表面刻线、刻槽镀层(透明)等深度。仪器配以各种附件,还能测量粒状,加工纹路混乱的表面,低反射率的工件表面。同时还能将仪器安置在工件上,对大型工件表面进行测量。仪器测量表面不平深度范围为1-0.03微米,用测微目镜和照明方法来评定▽10-▽14光洁度的表面。本仪器适用于厂矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校,科学研究单位。

主要技术参数:

   目镜:测微目镜12.5X,测微鼓轮分划值0.01mm

   仪器放大倍数:500X

   仪器视场:ф0.25 mm

   物镜:40X,数值孔径0.65mm,工作距离0.5mm

   标准镜:高反射率≈50%,低反射率≈4%

   工作台:升降范围5mm,XY方向移动范围≈10mm,

360度旋转

   绿色干涉滤色片:波长λ5300A,半宽度▽≈100A

   测量表面光洁度范围:▽10-▽14

(相当于测量表面不  平深度范围为0.1um-0.03um)

   光源:电珠灯泡6V15W,亮度可调

  
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